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洁净室、净化车间工艺布置上，应将洁净度相同的洁净室尽可能布置在一起。洁净室中只安装必要的工艺设备。在生产净化车间功能上容易产生尘粒和有害气体的工艺设备应布置在洁净室外部。如因工艺要求，必须将它们装在洁净室内，则应靠近回风口或排风口，并尽量将洁净度要求高的工序布置在清洁空气先到达的部位。
