空气净化系统是千级净化洁净室的核心组成部分，其性能直接影响洁净室的洁净度水平。一般来说，千级洁净室的空气净化系统包括以下几个部分：
初效过滤器：作为空气净化系统的第一道防线，主要拦截大颗粒尘埃，保护后续过滤器的使用寿命。
中效过滤器：进一步过滤空气中的微粒，提高空气洁净度。
高效过滤器（HEPA）：采用超细玻璃纤维滤纸或聚四氟乙烯膜等材料制成，对0.3微米以上的微粒具有99.97%以上的过滤效率，是千级洁净室达到净化标准的关键。
循环风机与风管系统：通过合理的风量计算和气流组织设计，确保洁净室内空气均匀分布，形成稳定的洁净环境。
此外，还需考虑空气净化系统的智能化控制，如根据洁净室内尘埃粒子浓度的实时监测结果自动调节风机转速和过滤效率，以实现节能降耗和精准控制。
